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    [澳门永利网站]SS II系列直流磁控溅射电源

    SS II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有

    良好的负载特性,性价比高,适用于金属及反应膜层环境使用

    电源功率范围

    10-120KW

    输入电源

    AC380V三相四线制AC50-60HZ±10

    输出方式

    输出电压

    空载800V

    灭弧时间

    ≤20uS

    输出电流稳定率

    0.5%

    冷却方式

    10-60KW风冷 60-120KW水

    使用环境

    环境温度 0-40℃

    环境湿度 相对湿度≤85% 

    空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

    冷却水

    清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 

    水温 20-30℃

    压力 0.15±0.05Mpa

    通讯方式

    模拟/RS485/RS232

    说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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