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      [澳门永利网站]SS II系列直流磁控溅射电源

      SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具

      有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及反应膜层环境使用

      电源功率范围

      10-120KW

      输入电源

      AC380V三相四线制AC50-60HZ±10

      输出方式

      输出电压

      空载800V

      灭弧时间

      ≤20uS

      输出电流稳定率

      0.5%

      冷却方式

      10-60KW风冷 60-120KW水

      使用环境

      环境温度 0-40℃

      环境湿度 相对湿度≤85% 

      空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

      冷却水

      清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 

      水温 20-30℃

      压力 0.15±0.05Mpa

      通讯方式

      模拟RS485/RS232

      说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调

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