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      澳门永利网站磁控溅射电源

      SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式

      工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中

      毒,适用于反应膜层环境使用。

      电源功率范围

      10-120KW

      输入电源

      AC380V三相四线制 50-60HZ±10

      输出方式

      脉冲宽度

      10-90%

      输出电压

      空载800V[峰值电压]

      灭弧时间

      ≤3uS

      输出电流稳定率

      0.5%

      冷却方式

      10-60KW 风冷 60-120KW 水

      使用环境

      环境温度 0-40℃

      环境湿度 相对湿度≤85%

      空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

      冷却水

      清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

      水温 20-30℃

      压力 0.15±0.05Mpa

      通讯方式

      模拟/RS485/RS232

      说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调



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