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    澳门永利网站磁控溅射电源

     SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工

    作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,

    用于反应膜层环境使用。

    电源功率范围

    10-120KW

    输入电源

    AC380V三相四线制 50-60HZ±10%

    输出方式

    脉冲

    脉冲宽度

    10-90%

    输出电压

    空载800V[峰值电压]

    灭弧时间

    ≤3uS

    输出电流稳定率

    0.5%

    冷却方式

    10-60KW 风冷  60-120KW 水冷

    使用环境

    环境温度 0-40℃

    环境湿度 相对湿度≤85%

    空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

    冷却水

    清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

    水温 20-30℃

    压力 0.15±0.05Mpa

    通讯方式

    模拟/RS485/RS232

    说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整



                                       
                                      
                                           

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