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      [澳门永利402官方网站]SSDH系列中频交流磁控溅射电源

      SSDH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。电源输出频率可制定为100、125、150、175、200KHZ,或200、250、350、400 KHZ,用于化合物膜的沉积及相关工艺开发

      电源功率范围

      2-20KW

      输入电源

      AC380V三相四线制   50-60HZ±10

      输出方式

      交流正弦

      输出频率

      100、125、150、175、200KHZ,或200、250、350、400 KHZ

      输出电压

      空载1000V[有效值]

      输出特性

      恒流、恒压、恒功

      灭弧时间

      ≤1uS

      输出稳定率

      0.25%

      冷却方式

      使用环境

      环境温度 0-40℃

      环境湿度 相对湿度≤85%

      空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
      通讯方式

      模拟/RS485/RS232

      说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

         



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