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    澳门永利402官方网站控溅射电源

    SSTH系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒。澳门永利402官方网站控溅射电源具备独特的电弧抑制手段,有效克服电弧对膜层造成的瑕疵,预警系统实时显示电源工作状态,以便及时排除潜在问题。电源特别适用于大功率反应溅射膜层,如Low-E玻璃生产线及金属非金属卷绕镀膜使用
    电源功率范围                                  30-120KW
    输入电源                                        AC380V三相四线制AC50-60HZ±10%
    输出方式                                         准正弦波
    输出频率                                         40KHZ
    输出电压                                         空载1100V[有效值]
    输出特性                                         恒流 恒压 恒功率
    灭弧时间                                         ≤3uS
    输出电流稳定率                               0.25%
    负载持续率                                     100%
    冷却方式                                        水冷
    使用环境                                        环境温度 0-40℃
                                                        环境湿度 相对湿度≤85%
                                                        空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
    冷却水                                           清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
                                                        水温 20-30℃
                                                        压力 0.15±0.05Mpa
    通讯方式                                        模拟/RS485/RS232
    说明:电源的输出数据可根据使用需要作相应调整

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